本文转自：东谈主民网-江苏频谈
光子芯片中试线名堂内景。滨湖区委宣传部供图
9月25日，在2024集成电路（无锡）篡改发展大会上，由上海交通大学无锡光子芯片扣问院诞生的国内首条光子芯片中试线在无锡市滨湖区认真启用。
据悉，该中试平台总面积17000正常米，集科研、分娩、劳动于一体，配备了超100台外洋顶级CMOS工艺开拓，销亡了薄膜铌酸锂光子芯片从光刻、薄膜千里积、刻蚀、湿法、切割、量测到封装的全闭环工艺。平台还兼顾硅、氮化硅等其他材料体系，搭建了N个脾气工艺平台，酿成“1+N”先进光子器件篡改平台，不仅可为高校、科研院所、篡改企业提供全历程工夫劳动，还不错为光子产业孵假名堂，与产业基金高效联动，买通从居品研发到市集化的圆善链条，加快科技恶果的交易化转变。
“工夫的高速迭代与篡改是鼓动光子芯片产业化的中枢要津。”上海交通大学无锡光子芯片扣问院院长金贤敏暗示，中试平台不仅能加快工夫迭代的飞轮效应，促进工艺历程的握续优化和居品篡改能力的普及，还将往时所未有的速率触摸到科技前沿的“天区”，破解篡改链和产业链长久存在的结构性矛盾。
据先容，该中试线认真启用后，预测年产能达10000片晶圆，2025年第一季度将认真发布PDK，提供对外流片劳动。下阶段，上海交通大学无锡光子芯片扣问院将基于6/8寸薄膜铌酸锂晶圆，以薄膜铌酸锂调制器为中枢，攻克薄膜铌酸锂光子芯片产业化靠近的工程工夫封闭，开发晶圆级芯片量产工艺，杀青薄膜铌酸锂光子芯片领域量产，得志东谈主工智能发展等大算力需求。